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直驅電機四軸平臺應用于PVD去膜機
X軸和Y軸為平板直線電機，Z軸為伺服電機平臺，第四軸為可360°旋轉的力矩電機
X軸、Y軸重復定位精度2um，X-Y垂直度0.01mm，Z-Y垂直度0.03mm，負載面-Y平行度0.03mm
了解詳細
直線電機雙驅平臺應用于激光切割機床
重復定位精度±1 um， 絕對定位精度5um，走圓弧插補，圓度精度5um（軌跡 ?6）
雙層防護結構，有效保護直線電機平臺內部零部件不受激光切割粉塵影響
了解詳細
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